01 ●

• Sputter

02 ●

• Slit coater

03 ●

• Spin coater

04 ●

• LDI exposure system

05 ●

• Stepper

06 ●

• 現像システム

07 ●

• ES自動システム

  Etching & Strip

08 ●

• スクライビング

01 ●

• 光学顕微鏡検査

02 ●

• Alpha Step

03 ●

• Alpha Step

  厚さ測定

04 ●

• AFM

05 ●

• 抵抗計

06 ●

• Spectrophotometer

  U-4100

07 ●

• MINI SEM