01 ●

• Sputter设备

02 ●

• 裂隙涂布机

03 ●

• 旋涂涂布机

04 ●

• LDI曝光机

05 ●

• 步进式曝光机

06 ●

• 显影设备

07 ●

• ES自动设备

  蚀刻与剥离

08 ●

• 划片机

  Scribing

01 ●

• 光学显微镜检测

02 ●

• Alpha Step

03 ●

• Alpha Step

  厚度测量

04 ●

• AFM

05 ●

• 电阻测量仪

06 ●

• Spectrophotometer

  U-4100

07 ●

• MINI SEM